产品分类
您当前的页面:网站首页--新闻中心
新闻中心

氨气纯化产品是光电子、微电子技术不可缺少的支撑材料。


氨气纯化产品是光电子、微电子技术不可缺少的支撑材料。广泛应用在半导体照明、平板显示、太阳能电池以及大规模集成电路制造领域中。高纯氨的质量直接影响材 料的光学性能和电学性能乃至器件的使用寿命。国际、国内都有巨大的潜在市场。随着国内半导体产业的发展,对高纯氨的需求迅速增长,高纯电子气体国产化是发 展的必然趋势。

氨分解系统氨干燥

原理:

氨干燥(氨干燥器)是利用分子筛在不同温度下对水吸附量不同的原理,通过常温工作,加热再生得到干燥的氨气。

特点:

1、原理简单,结构合理,能耗低;

2、气体指标稳定,杂质含量低;

3、可选配自动系统,实现无人值守;

4、与氨分解装置配套使用,亦可用与其他气体的变温吸附干燥;

技术指标:  

原料氨气:

压力—≤20bar

露点—≤-10℃

满足标准—国标一等品以上

产品氨气:

压力—≤20bar

露点—≤-60℃

残余氨—≤0.1%

分解气量—1~2000Nm /h

超高纯氨也是金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD)技术生产第三代化合物半导体材料氮化镓(GaN)的关键支撑材料。MOCVD技术制备氮化镓 (GaN)要求所使用的氨必需高纯超净,其纯度水平为7N (99.99999%)。由于受技术瓶颈和技术壁垒的限制,一直以来国内高纯氨纯度达到6.0N,难以满足GaN生长技术的要求。随着我国“国家半导体照 明工程”的启动,对GaN用关键支撑材料的需求更加迫切。因此,突破GaN用超纯白氨的纯化技术,实现超高纯氨规模化生产,替代进口产品,势在必行。